集積回路のハイエンド設(shè)備の國(guó)産化が、新たな一歩を踏み出した。清華控股有限公司が明らかにしたところによると、清華大學(xué)の科學(xué)技術(shù)成果を転化させた、中國(guó)初の12インチ化學(xué)機(jī)械研磨洗浄機(jī)が、このほど交付された。人民日?qǐng)?bào)が伝えた。

化學(xué)機(jī)械研磨洗浄機(jī)は、化學(xué)腐蝕と機(jī)械の力を用い、加工中のウエハを滑らかにすることで、ナノメートル級(jí)の滑らかな表面を形成する。これは集積回路の製造技術(shù)の5大重要技術(shù)の一つだ。國(guó)家科技重大特別プロジェクト「特大規(guī)模集積回路平坦化技術(shù)?材料」の支援を受け、清華大學(xué)は中國(guó)初の12インチ銅製研磨洗浄機(jī)（ドライイン?ドライアウト方式）を開発した。その主な技術(shù)指標(biāo)は、海外の最先端製品の水準(zhǔn)に達(dá)するか、それを上回っている。（編集YF）

「人民網(wǎng)日本語(yǔ)版」2015年8月5日